產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

EBARA荏原

干式真空泵

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原廠?。BARA荏原干式真空泵 ESA類型

原廠?。BARA荏原干式真空泵 ESA類型 ESA15-D
池田屋實業(yè)優(yōu)勢供應，并提供報價圖片

更新時間：2025-04-24
產(chǎn)品型號：ESA15-D
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
訪問量：498

立即咨詢

聯(lián)系電話：0755-22220219

產(chǎn)品詳情

原廠??！EBARA荏原干式真空泵 ESA類型 ESA15-D

ESA類型

可排出氫氣等輕質(zhì)氣體并對大型腔室進行高速排氣的干式真空泵

大型真空室，高速排氣

有機溶劑兼容選項

氫氣和其他輕氣體的尾氣

耐腐蝕材料選項

無油

CE 標志/SEMI-S2/NRTL 兼容

非常適合研究機構(gòu)

吸附特定化學物質(zhì)

產(chǎn)品介紹

ESA型備有適合氫氣等輕質(zhì)氣體排氣的排氣量1,400L/min～10,000L/min的型號，以及適合大型腔室高速排氣的排氣量20,000L/min～80,000L/min的型號。容量為 10,000 L/min 或更低的型號適用于輕質(zhì)氣體排放，并具有緊湊的設計和耐腐蝕材料選項。它們是 MO-CVD 等高流量輕氣體排氣應用的理想選擇。大型機型雖然排氣量大，但運行安靜、振動低，并且還提供有機溶劑排氣選件，非常適合用于液晶濺射設備、真空干燥工藝、大型負載鎖等。

規(guī)格

模型

單元

ESA15-D

ESA25-D

ESA25XW

ESA70W(-D)

ESA70WN(-D)

ESA80W-HDF

ESA80WN-HDF

ESA100W

ESA100WN

ESA200W

ESA300W

ESA500W

ESA700W

抽速

升/分鐘

1,400（50赫茲）

2,500（50赫茲）

5,000（50赫茲）

7,000（50赫茲）

8,400（50赫茲/60赫茲）

10,000（50赫茲/60赫茲）

20,000（50赫茲/60赫茲）

28,000（50赫茲）

47,000（50赫茲）

80,000（50赫茲/60赫茲）

1,700（60赫茲）

3,000（60赫茲）

6,000（60赫茲）

8,400（60赫茲）

30,000（60赫茲）

50,000（60赫茲）

極限壓力

爸爸

400（50赫茲）

5.3（50赫茲）

0.27（50赫茲）

0.4（50赫茲）

0.13

0.27

0.13

0.27

0.53

0.5

270（60赫茲）

4.0（60赫茲）

0.13（60赫茲）

0.27（60赫茲）

連接尺寸

進氣口

NW40

NW50

ISO80

NW50

NW80

ISO100

ISO160

排氣口

NW40

NW50

極限壓力下的近似功率值

千瓦

2.9（50赫茲）

2.6（50赫茲）

5.2（50赫茲）

3.6（50赫茲）

4.2

4.9

3.2（50赫茲）

6.6（50赫茲）

5.1（50赫茲）

7.4

3.2（60赫茲）

2.9（60赫茲）

5.8（60赫茲）

4.0（60赫茲）

3.4（60赫茲）

7.3（60赫茲）

6.7（60赫茲）

冷卻水

流動

升/分鐘

3.5~8

7~16

3.5~8

6~9

溫度

℃

最大限度。三十

氮氣

流動

帕•立方米/秒

14~17（4.6）

17~20（3.8）

34~40

24~27（4.7）

54~57

54~45

17~20（3.8）

7.5~10.5

8.5~11

電源相位/電壓/頻率

200V型號

三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz

400V型號

三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz

460V型號

三相/440V/50Hz
三相/440-480V/60Hz

供電容量

千伏安

6.4

12.8

10.3

12.6

23.7

41.3

46.5

近似質(zhì)量

公斤

240

480

380

400

410

700

750

1200

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